Kjølesystemene for flytende nitrogen er mye brukt i halvleder- og brikkeindustrien, inkludert prosessen med,
- Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Brikkens test etter COB-pakke
Relaterte produkter
Vakuumisolerte rørserier
Vakuumisolert fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisolerte faseseparatorserien
Vakuumisolert ventilserie
Støtteutstyr for rørsystem
MOLEKYLÆR STRÅLEEPITAKSI
Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE) ble utviklet på 1950-tallet for å fremstille halvleder tynnfilmmaterialer ved bruk av vakuumfordampningsteknologi.Med utviklingen av ultrahøyvakuumteknologi har anvendelsen av teknologi blitt utvidet til feltet av halvledervitenskap.
HL har lagt merke til etterspørselen etter MBE flytende nitrogen kjølesystem, organisert teknisk ryggrad for å lykkes med å utvikle et spesielt MBE flytende nitrogen kjølesystem for MBE teknologi og et komplett sett med vakuumisolert rørsystem, som har blitt brukt i mange bedrifter, universiteter og forskningsinstitutter .
De vanlige problemene i halvleder- og brikkeindustrien inkluderer,
- Trykket av flytende nitrogen inn i terminalutstyr (MBE).Forhindre trykkoverbelastning fra skadeterminalutstyr (MBE).
- Flere kryogene væskeinntaks- og utløpskontroller
- Temperaturen til flytende nitrogen inn i terminalutstyr
- En rimelig mengde kryogene gassutslipp
- (Automatisk) Bytting av hoved- og grenledninger
- Trykkjustering (reduserende) og stabilitet av VIP
- Rensing av mulige urenheter og isrester fra tanken
- Påfyllingstid for terminalvæskeutstyr
- Rørledningsforkjøling
- Væskemotstand i VIP-systemet
- Kontroller tap av flytende nitrogen under ukontinuerlig service av systemet
HLs Vacuum Insulated Pipe (VIP) er bygget i henhold til ASME B31.3 Pressure Piping-kode som standard.Ingeniørerfaring og kvalitetskontrollevne for å sikre effektiviteten og kostnadseffektiviteten til kundens anlegg.
LØSNINGER
HL Cryogenic Equipment gir kundene det vakuumisolerte rørsystemet for å møte kravene og betingelsene til halvleder- og brikkeindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 trykkrørkode.
2. En spesialfaseseparator med flere kryogene væskeinntak og -utløp med automatisk kontrollfunksjon oppfyller kravet til gassutslipp, resirkulert flytende nitrogen og temperatur på flytende nitrogen.
3.Aadequat og rettidig eksosdesign sikrer at terminalutstyr alltid fungerer innenfor den beregnede trykkverdien.
4. Gass-væskebarrieren plasseres i det vertikale VI-røret ved enden av VI-rørledningen.Gass-liquid Barrier bruker gasstetningsprinsippet for å blokkere varmen fra enden av VI-rørledningen inn i VI-røret, og effektivt redusere tapet av flytende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende service av systemet.
5.VI Rør kontrollert av den vakuumisolerte ventilen (VIV)-serien: Inkludert vakuumisolert (pneumatisk) stengeventil, vakuumisolert tilbakeslagsventil, vakuumisolert reguleringsventil etc. Ulike typer VIV kan kombineres modulært for å kontrollere VIP som nødvendig.VIV er integrert med VIP prefabrikasjon i produsent, uten isolert behandling på stedet.Tetningsenheten til VIV kan enkelt skiftes ut.(HL aksepterer det kryogene ventilmerket utpekt av kundene, og lager deretter vakuumisolerte ventiler av HL. Noen merker og modeller av ventiler kan kanskje ikke lages til vakuumisolerte ventiler.)
6.Renhet, hvis det er ytterligere krav til renslighet av innerrørets overflate.Det foreslås at kunder velger BA eller EP rustfrie stålrør som VIP-innerrør for ytterligere å redusere rustfritt stålsøl.
7. Vakuumisolert filter: Fjern mulige urenheter og isrester fra tanken.
8. Etter noen dager eller lengre nedleggelse eller vedlikehold er det svært nødvendig å forhåndskjøle VI Piping og terminalutstyr før kryogen væske kommer inn, for å unngå isslagg etter at kryogen væske kommer direkte inn i VI Piping og terminalutstyr.Forkjølingsfunksjon bør vurderes i design.Det gir bedre beskyttelse for terminalutstyr og VI Piping-støtteutstyr som ventiler.
9.Suit for både dynamisk og statisk vakuumisolert (fleksibelt) rørsystem.
10.Dynamisk vakuumisolert (fleksibelt) rørsystem: Består av VI fleksible slanger og/eller VI rør, koblingsslanger, vakuumisolert ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inkludert vakuumpumper, magnetventiler og vakuummålere etc. ).Lengden på enkel VI fleksibel slange kan tilpasses i henhold til brukerens krav.
11. Ulike tilkoblingstyper: Vakuumbajonetttilkobling (VBC) Type og sveiset tilkobling kan velges.VBC-typen trenger ikke isolert behandling på stedet.