Væskens nitrogenkjølingssystemer er mye brukt i halvleder- og chipindustrien, inkludert prosessen med,
- Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Brikkens test etter COB -pakken
Relaterte produkter
Vakuumisolert rørserie
Vakuumisolert fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisolert faseseparatorserie
Vakuumisolert ventilserie
Støtteutstyr for rørsystemer
Molekylær strålepitaxy
Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE) ble utviklet på 1950 -tallet for å fremstille halvleder -tynne filmmaterialer ved bruk av vakuumfordampningsteknologi. Med utviklingen av ultrahøy vakuumteknologi har anvendelsen av teknologi blitt utvidet til feltet halvledervitenskap.
HL har lagt merke til etterspørselen fra MBE flytende nitrogenkjølingssystem, organisert teknisk ryggrad for å lykkes med å utvikle et spesielt MBE -flytende nitrogen -cooing -system for MBE -teknologi og et komplett sett med vakuumisolert rørsystem, som har blitt brukt i mange virksomheter, universiteter og forskningsinstitutter .
De vanlige problemene med halvleder- og chipindustrien inkluderer,
- Trykket av flytende nitrogen til terminalutstyr (MBE). Forhindre overbelastning av trykk fra å skade Terminal (MBE) utstyr.
- Flere kryogene væskeinnløps- og utløpskontroller
- Temperaturen på flytende nitrogen til terminalutstyr
- En rimelig mengde kryogene gassutslipp
- (Automatisk) Bytte av hoved- og grenlinjer
- Trykkjustering (reduksjon) og stabiliteten til VIP
- Rengjøring av mulige urenheter og isrester fra tanken
- Fylletid for terminalvæskeutstyret
- Pipeline preooling
- Væskemotstand i VIP -system
- Kontrolltap av flytende nitrogen under diskontinuerlig service av systemet
HLs vakuumisolerte rør (VIP) er bygget til ASME B31.3 Trykkrørkode som standard. Ingeniørerfaring og kvalitetskontroll evne til å sikre effektiviteten og kostnadseffektiviteten til kundens anlegg.
Løsninger
HL kryogent utstyr gir kundene det vakuumisolerte rørsystemet for å oppfylle kravene og forholdene til halvleder- og brikkeindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 Trykkrørkode.
2. En spesiell faseseparator med flere kryogene flytende innløp og utløp med automatisk kontrollfunksjon oppfyller kravet til gassutslipp, resirkulert flytende nitrogen og temperatur på flytende nitrogen.
3. Tilstrekkelig og betimelig eksosdesign sikrer at terminalutstyr alltid fungerer innenfor den designet trykkverdien.
4. Gass-væske-barrieren er plassert i det vertikale VI-røret på slutten av VI-rørledningen. Gass-væskebarriere bruker gassforseglingsprinsippet for å blokkere varmen fra enden av VI-rørledningen i VI-rørledningen, og reduserer effektivt tap av flytende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende service av systemet.
5.VI-rør kontrollert av den vakuumisolerte ventil (VIV) -serien: inkludert vakuumisolert (pneumatisk) avstengningsventil, vakuumisolert sjekkventil, vakuumisolert reguleringsventil osv. Ulike typer VIV kan være modulær for å kontrollere VIP som som påkrevd. VIV er integrert med VIP-prefabrikasjon i produsenten, uten isolert behandling på stedet. Tetningsenheten til VIV kan enkelt byttes ut. (HL aksepterer det kryogene ventilmerket som er utpekt av kunder, og lager deretter vakuumisolerte ventiler av HL. Noen merker og modeller av ventiler kan ikke være i stand til å bli gjort til vakuumisolerte ventiler.)
6. Rengjøring, hvis det er ytterligere krav til renslighet i indre røroverflater. Det antydes at kunder velger BA- eller EP rustfrie stålrør som VIP -indre rør for ytterligere å redusere søl i rustfritt stål.
7.Vacuum isolert filter: Rengjør de mulige urenheter og isrester fra tanken.
8. Etter noen dager eller lengre avstengning eller vedlikehold, er det veldig nødvendig å forut at VI -rør- og terminalutstyret før kryogen væske legges inn, for å unngå isslagg etter kryogen væske kommer direkte inn i VI -rør- og terminalutstyret. Forhåndsfunksjon bør vurderes i design. Det gir bedre beskyttelse for terminalutstyr og VI -rørstøtteutstyr som ventiler.
9. Sits for både dynamisk og statisk vakuumisolert (fleksibelt) rørsystem.
10.Dynamisk vakuumisolert (fleksibelt) rørsystem: består av VI fleksible slanger og/eller VI -rør, jumperslanger, vakuumisolert ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inkludert vakuumpumper, magnetventiler og vakuummåler etc. ). Lengden på enkelt VI -fleksibel slange kan tilpasses i henhold til brukerens krav.
11.Various tilkoblingstyper: Vacuum bajonettforbindelse (VBC) type og sveiset tilkobling kan velges. VBC-typen trenger ikke isolert behandling på stedet.
