Kjølesystemer med flytende nitrogen er mye brukt i halvleder- og brikkeindustrien, inkludert prosessen med,
- Teknologien bak molekylærstråleepitaksi (MBE)
- Brikkens test etter COB-pakken
Relaterte produkter
Vakuumisolerte rørserier
Vakuumisolert fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisolert faseseparatorserie
Vakuumisolert ventilserie
Støtteutstyr for rørsystemer
Molekylær stråleepitaxi
Teknologien Molecular Beam Epitaxy (MBE) ble utviklet på 1950-tallet for å fremstille tynne halvlederfilmmaterialer ved hjelp av vakuumfordampningsteknologi. Med utviklingen av ultrahøyvakuumteknologi har anvendelsen av teknologien blitt utvidet til feltet halvledervitenskap.
HL har lagt merke til etterspørselen etter MBE flytende nitrogen-kjølesystem, organisert teknisk ryggrad for å lykkes med å utvikle et spesielt MBE flytende nitrogen-kjølesystem for MBE-teknologi og et komplett sett med vakuumisolerte rørsystemer, som har blitt brukt i mange bedrifter, universiteter og forskningsinstitutter.
Vanlige problemer i halvleder- og brikkeindustrien inkluderer,
- Trykket av flytende nitrogen inn i terminalutstyr (MBE). Forhindre at trykkoverbelastning skader terminalutstyr (MBE).
- Flere inn- og utløpskontroller for kryogen væske
- Temperaturen på flytende nitrogen i terminalutstyr
- En rimelig mengde kryogene gassutslipp
- (Automatisk) kobling av hoved- og sidelinjer
- Trykkjustering (reduksjon) og stabilitet av VIP
- Fjerning av mulige urenheter og isrester fra tanken
- Fylletid for terminalvæskeutstyr
- Forkjøling av rørledninger
- Væskemotstand i VIP-systemet
- Kontrolltap av flytende nitrogen under diskontinuerlig drift av systemet
HLs vakuumisolerte rør (VIP) er bygget i henhold til ASME B31.3 trykkrørkode som standard. Ingeniørerfaring og kvalitetskontrollevne sikrer effektiviteten og kostnadseffektiviteten til kundens anlegg.
LØSNINGER
HL Cryogenic Equipment tilbyr kundene vakuumisolerte rørsystemer for å møte kravene og betingelsene i halvleder- og brikkeindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 Trykkrørkode.
2. En spesiell faseseparator med flere kryogeniske væskeinnløp og -utløp med automatisk kontrollfunksjon oppfyller kravene til gassutslipp, resirkulert flytende nitrogen og temperatur på flytende nitrogen.
3. Tilstrekkelig og rettidig eksosdesign sikrer at terminalutstyr alltid fungerer innenfor den designede trykkverdien.
4. Gass-væske-barrieren plasseres i det vertikale VI-røret på enden av VI-rørledningen. Gass-væske-barrieren bruker gassforseglingsprinsippet for å blokkere varme fra enden av VI-rørledningen og inn i VI-rørene, og reduserer effektivt tapet av flytende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende drift av systemet.
5. VI-rør styrt av vakuumisolerte ventiler (VIV)-serien: Inkluderer vakuumisolerte (pneumatiske) avstengningsventiler, vakuumisolerte tilbakeslagsventiler, vakuumisolerte reguleringsventiler osv. Ulike typer VIV kan modulært kombineres for å styre VIP etter behov. VIV er integrert med VIP-prefabrikasjon fra produsenten, uten isolasjonsbehandling på stedet. Tetningsenheten til VIV kan enkelt byttes ut. (HL aksepterer det kryogene ventilmerket som kundene angir, og produserer deretter vakuumisolerte ventiler av HL. Enkelte merker og modeller av ventiler kan kanskje ikke lages til vakuumisolerte ventiler.)
6. Renhold, hvis det er ytterligere krav til renhet av overflaten på innerrøret. Det anbefales at kunder velger BA- eller EP-rør i rustfritt stål som VIP-innerrør for å redusere søl av rustfritt stål ytterligere.
7. Vakuumisolert filter: Rengjør tanken for mulige urenheter og isrester.
8. Etter noen dager eller lengre nedstengning eller vedlikehold er det svært nødvendig å forkjøle VI-rørene og terminalutstyret før kryogen væske kommer inn i det, for å unngå isslagg etter at kryogen væske kommer direkte inn i VI-rørene og terminalutstyret. Forkjølingsfunksjonen bør tas i betraktning i design. Dette gir bedre beskyttelse av terminalutstyr og støtteutstyr for VI-rør, for eksempel ventiler.
9. Passer for både dynamiske og statiske vakuumisolerte (fleksible) rørsystemer.
10. Dynamisk vakuumisolert (fleksibelt) rørsystem: Består av fleksible VI-slanger og/eller VI-rør, jumperslanger, vakuumisolert ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inkludert vakuumpumper, magnetventiler og vakuummålere osv.). Lengden på den enkle fleksible VI-slangen kan tilpasses brukerens behov.
11. Ulike tilkoblingstyper: Vakuumbajonettkobling (VBC) og sveiset kobling kan velges. VBC-typen trenger ikke isolasjonsbehandling på stedet.
