Chip MBE-prosjektet som ble fullført de siste årene

Teknologi

Molekylstråleepitaksi, eller MBE, er en ny teknikk for å dyrke tynne krystallfilmer av høy kvalitet på krystallsubstrater. Under ultrahøye vakuumforhold genereres damp ved hjelp av alle nødvendige komponenter ved hjelp av varmeovner. Etter kollimering av atomstråler eller molekylstråler injiseres dampen direkte til passende temperatur på enkeltkrystallsubstratet. Samtidig kontrolleres skanningen av molekylstrålen på substratet for å få molekylene eller atomene i krystalljusteringslagene til å danne en tynn film på substratet.

For normal drift av MBE-utstyr kreves det at flytende nitrogen med høy renhet, lavt trykk og ultrarent transporteres kontinuerlig og stabilt til kjølekammeret i utstyret. Generelt har en tank som leverer flytende nitrogen et utgangstrykk mellom 0,3 MPa og 0,8 MPa. Flytende nitrogen ved -196 ℃ fordampes lett til nitrogen under rørledningstransport. Når det flytende nitrogenet med et gass-væske-forhold på omtrent 1:700 er forgasset i rørledningen, vil det oppta en stor mengde flytende nitrogenstrømningsplass og redusere den normale strømmen på enden av rørledningen for flytende nitrogen. I tillegg er det sannsynlig at det i lagringstanken for flytende nitrogen er rusk som ikke er renset. I rørledningen for flytende nitrogen vil tilstedeværelsen av våt luft også føre til generering av isslagg. Hvis disse urenhetene slippes ut i utstyret, vil det forårsake uforutsigbar skade på utstyret.

Derfor transporteres det flytende nitrogenet i den utendørs lagringstanken til MBE-utstyret i det støvfrie verkstedet med høy effektivitet, stabilitet og renhet, og med lavt trykk, uten nitrogen, ingen urenheter, 24 timer i døgnet uavbrutt, er et slikt transportkontrollsystem et kvalifisert produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Matchende MBE-utstyr

Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimalisert og forbedret dette systemet og samarbeidet med internasjonale produsenter av MBE-utstyr. MBE-utstyrsprodusenter, inkludert DCA og REBER, har et samarbeid med selskapet vårt. MBE-utstyrsprodusenter, inkludert DCA og REBER, har samarbeidet i et stort antall prosjekter.

Riber SA er en ledende global leverandør av molekylærstråleepitaksi (MBE)-produkter og relaterte tjenester for forskning på sammensatte halvledere og industrielle applikasjoner. Riber MBE-enheten kan avsette svært tynne lag med materiale på substratet, med svært høy kontroll. Vakuumutstyret til HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er utstyrt med Riber SA. Det største utstyret er Riber 6000 og det minste er Compact 21. Det er i god stand og har blitt anerkjent av kunder.

DCA er verdens ledende oksid-MBE. Siden 1993 har det blitt gjennomført systematisk utvikling av oksidasjonsteknikker, oppvarming av antioksidantsubstrater og antioksidantkilder. Av denne grunn har mange ledende laboratorier valgt DCA-oksidteknologi. Kompositt-halvleder-MBE-systemer brukes over hele verden. VJ-systemet for flytende nitrogensirkulasjon fra HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE-utstyret fra flere DCA-modeller har tilsvarende erfaring i mange prosjekter, som modellene P600, R450, SGC800 osv.

tcm (2)

Ytelsestabell

Shanghai Institute of Technical Physics, Det kinesiske vitenskapsakademiet
Det 11. instituttet for Kinas elektronikkteknologiselskap
Institutt for halvledere, Det kinesiske vitenskapsakademiet
Huawei
Alibaba DAMO-akademiet
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Publisert: 26. mai 2021

Legg igjen beskjeden din