Chip MBE -prosjektet fullført de siste årene

Teknologi

Molekylær stråleepitaxy, eller MBE, er en ny teknikk for å dyrke tynne høykvalitets tynnkrystaller på krystallsubstrater. Ved ultrahøye vakuumforhold er ved varmeovnen utstyrt med alle slags nødvendige komponenter og genererer damp, gjennom hull dannet etter kollimatisering Substratskanningen samtidig kan det gjøre molekylene eller atomer i krystallinnrettingslag for å danne en tynn film på et underlag "vekst".

For normal drift av MBE-utstyr er det påkrevd høy renhet, lavtrykk og ultra-rene flytende nitrogen å bli kontinuerlig og stabilt transportert til utstyrets kjølekammer. Generelt har en tank som gir flytende nitrogen et utgangstrykk mellom 0,3MPa og 0,8MPa.Liquid nitrogen ved -196 ℃ lett fordampes til nitrogen under rørledningstransport. Når det flytende nitrogenet med et gass-væske-forhold på omtrent 1: 700 er forgassifisert i rørledningen, vil det okkupere en stor mengde flytende nitrogenstrømningsrom og redusere den normale strømmen ved enden av den flytende nitrogenrørledningen. I tillegg, i den flytende nitrogenlagringstanken, vil det sannsynligvis være rusk som ikke er renset. I den flytende nitrogenrørledningen vil eksistensen av våt luft også føre til generering av isslagg. Hvis disse urenhetene slippes ut i utstyret, vil det føre til uforutsigbar skade på utstyret.

Derfor transporteres det flytende nitrogenet i den utendørs lagringstanken til MBE-utstyret i det støvfrie verkstedet med høy effektivitet, stabilitet og rent, og lavt trykk, ingen nitrogen, ingen urenheter, 24 timer uavbrutt, slik transportkontrollsystem er et kvalifisert produkt.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Matchende MBE -utstyr

Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) optimalisert og forbedret dette systemet og samarbeidet med internasjonale MBE -utstyrsprodusenter. MBE -utstyrsprodusenter, inkludert DCA, Reber, har samarbeidsforhold med vårt selskap. MBE -utstyrsprodusenter, inkludert DCA og Reber, har samarbeidet i et stort antall prosjekter.

Riber SA er en ledende global leverandør av Molecular Beam Epitaxy (MBE) produkter og relaterte tjenester for sammensatt halvlederforskning og industrielle applikasjoner. Riber MBE -enheten kan avsette veldig tynne lag med materiale på underlaget, med veldig høye kontroller. Vakuumutstyret til HL kryogent utstyr (HL Cryo) er utstyrt med Riber SA Det største utstyret er Riber 6000 og det minste er kompakt 21. Det er i god stand og har blitt anerkjent av kunder.

DCA er verdens ledende oksid -MBE. Siden 1993 har systematisk utvikling av oksidasjonsteknikker, antioksidantsubstratoppvarming og antioksidantkilder blitt utført. Av denne grunn har mange ledende laboratorier valgt DCA -oksydteknologi. Kompositt Semiconductor MBE -systemer brukes over hele verden. VJ flytende nitrogen -sirkulasjonssystem for HL kryogent utstyr (HL Cryo) og MBE -utstyret til flere modeller av DCA har matchende opplevelse i mange prosjekter, for eksempel modellen P600, R450, SGC800 etc.

TCM (2)

Ytelsestabell

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
Det 11. instituttet for China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences
Huawei
Alibaba Damo Academy
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Post Time: Mai-26-2021

Legg igjen meldingen din