Teknologi
Molecular beam epitaxy, eller MBE, er en ny teknikk for å dyrke høykvalitets tynne filmer av krystaller på krystallsubstrater. Under ultrahøyvakuumforhold, ved oppvarmingsovnen er utstyrt med alle slags nødvendige komponenter og genererer damp, gjennom hull dannet etter kollimerende stråle atom- eller molekylstråle, direkte injeksjon til riktig temperatur på enkeltkrystallsubstratet, kontrollerende molekylstråle til substratet skanner samtidig, kan det få molekylene eller atomene i krystalljusteringslag til å danne en tynn film på et substrat "vekst".
For normal drift av MBE-utstyr kreves høy renhet, lavt trykk og ultrarent flytende nitrogen kontinuerlig og stabilt transportert til utstyrets kjølekammer. Generelt har en tank som gir flytende nitrogen et utgangstrykk mellom 0,3 MPa og 0,8 MPa. Flytende nitrogen ved -196 ℃ fordampes lett til nitrogen under rørledningstransport. Når det flytende nitrogenet med et gass-væske-forhold på ca. 1:700 er forgasset i rørledningen, vil det oppta en stor mengde flytende nitrogenstrømningsrom og redusere den normale strømningen ved enden av den flytende nitrogenrørledningen. I tillegg, i lagringstanken for flytende nitrogen, vil det sannsynligvis være rusk som ikke er renset. I rørledningen for flytende nitrogen vil eksistensen av våt luft også føre til dannelse av isslagg. Hvis disse urenhetene slippes ut i utstyret, vil det føre til uforutsigbar skade på utstyret.
Derfor transporteres det flytende nitrogenet i den utendørs lagertanken til MBE-utstyret i det støvfrie verkstedet med høy effektivitet, stabilitet og rent, og lavtrykket, ingen nitrogen, ingen urenheter, 24 timer uavbrutt, slikt transportkontrollsystem er et kvalifisert produkt.
Matchende MBE utstyr
Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimalisert og forbedret dette systemet og samarbeidet med internasjonale MBE-utstyrsprodusenter. MBE-utstyrsprodusenter, inkludert DCA, REBER, har samarbeidsrelasjoner med selskapet vårt. MBE utstyrsprodusenter, inkludert DCA og REBER, har samarbeidet i et stort antall prosjekter.
Riber SA er en ledende global leverandør av molekylær stråleepitaksi (MBE)-produkter og relaterte tjenester for forskning på sammensatte halvledere og industrielle applikasjoner. Riber MBE-enheten kan avsette svært tynne lag av materiale på underlaget, med svært høye kontroller. Vakuumutstyret til HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er utstyrt med Riber SA Det største utstyret er Riber 6000 og det minste er Compact 21. Det er i god stand og har blitt anerkjent av kunder.
DCA er verdens ledende oksid MBE. Siden 1993 har det vært gjennomført systematisk utvikling av oksidasjonsteknikker, antioksidantsubstratoppvarming og antioksidantkilder. Av denne grunn har mange ledende laboratorier valgt DCA-oksidteknologi. MBE-systemer med kompositthalvleder brukes over hele verden. VJ flytende nitrogen sirkulasjonssystemet til HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE-utstyret til flere modeller av DCA har matchende erfaring i mange prosjekter, for eksempel modellen P600, R450, SGC800 etc.
Ytelsestabell
Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences |
The 11th Institute of China Electronics Technology Corporation |
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Innleggstid: 26. mai 2021