Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE) ble utviklet på 1950-tallet for å fremstille halvleder tynnfilmmaterialer ved bruk av vakuumfordampningsteknologi. Med utviklingen av ultrahøyvakuumteknologi har anvendelsen av teknologi blitt utvidet til feltet av halvledervitenskap.
Motivasjonen for forskning på halvledermaterialer er etterspørselen etter nye enheter, som kan forbedre ytelsen til systemet. I sin tur kan ny materialteknologi produsere nytt utstyr og ny teknologi. Molecular beam epitaxy (MBE) er en høyvakuumteknologi for epitaksiallag (vanligvis halvleder) vekst. Den bruker varmestrålen fra kildeatomer eller molekyler som påvirker enkeltkrystallsubstrat. De ultrahøye vakuumegenskapene til prosessen tillater in-situ metallisering og vekst av isolasjonsmaterialer på nyvoksede halvlederoverflater, noe som resulterer i forurensningsfrie grensesnitt.
MBE-teknologi
Den molekylære stråleepitaksen ble utført i et høyvakuum eller ultrahøyt vakuum (1 x 10-8Pa) miljø. Det viktigste aspektet ved molekylær stråleepitaksi er dens lave avsetningshastighet, som vanligvis lar filmen epitaksialt vokse med en hastighet på mindre enn 3000 nm per time. En så lav avsetningshastighet krever et høyt nok vakuum for å oppnå samme renhetsgrad som andre avsetningsmetoder.
For å møte det ultrahøye vakuumet beskrevet ovenfor, har MBE-enheten (Knudsen-cellen) et kjølelag, og det ultrahøye vakuummiljøet i vekstkammeret må opprettholdes ved hjelp av et sirkulasjonssystem for flytende nitrogen. Flytende nitrogen avkjøler enhetens indre temperatur til 77 Kelvin (−196 °C). Lavtemperaturmiljøet kan ytterligere redusere innholdet av urenheter i vakuum og gi bedre forhold for avsetning av tynne filmer. Derfor kreves et dedikert flytende nitrogen-kjølesirkulasjonssystem for at MBE-utstyret skal gi en kontinuerlig og jevn tilførsel av -196 °C flytende nitrogen.
Flytende nitrogen kjølesirkulasjonssystem
Vakuum flytende nitrogen kjølesirkulasjonssystem inkluderer hovedsakelig,
● kryogen tank
● hoved- og grenvakuumkappet rør / vakuummantlet slange
● MBE spesialfaseseparator og vakuummantlet eksosrør
● en rekke vakuummantlede ventiler
● gass-væske barriere
● vakuummantlet filter
● dynamisk vakuumpumpesystem
● Forkjøling og rensing av oppvarmingssystem
HL Cryogenic Equipment Company har lagt merke til etterspørselen etter MBE flytende nitrogen kjølesystem, organisert teknisk ryggrad for å lykkes med å utvikle et spesielt MBE flytende nitrogen kjølesystem for MBE teknologi og et komplett sett med vakuum isolasjonedrørsystem, som har blitt brukt i mange bedrifter, universiteter og forskningsinstitutter.
HL kryogent utstyr
HL Cryogenic Equipment som ble grunnlagt i 1992 er et merke tilknyttet Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company i Kina. HL Cryogenic Equipment er forpliktet til å designe og produsere det høyvakuumisolerte kryogeniske rørsystemet og relatert støtteutstyr.
For mer informasjon, vennligst besøk den offisielle nettsidenwww.hlcryo.com, eller e-post tilinfo@cdholy.com.
Innleggstid: mai-06-2021
