HL Cryogenics VIP-systemer for kryogen overføring av halvledere

Halvlederindustrien sakker ikke farten, og etter hvert som den vokser, fortsetter kravene til kryogene distribusjonssystemer å øke – spesielt når det gjelder flytende nitrogen. Enten det gjelder å holde waferprosessorer kjølige, kjøre litografimaskiner eller håndtere avansert testing, må disse systemene fungere feilfritt. Hos HL Cryogenics fokuserer vi på å designe robuste, pålitelige vakuumisolerte løsninger som holder ting stabile og effektive, nesten uten termisk tap eller vibrasjoner. Vårt utvalg –Vakuumisolert rør, Fleksibel slange, Dynamisk vakuumpumpesystem, Isolert ventil, ogFaseseparator– danner i utgangspunktet ryggraden i kryogeniske rør for alt fra chipfabrikker og forskningslaboratorier til luftfart, sykehus og LNG-terminaler.

Inne i halvlederfabrikker kjører flytende nitrogen (LN₂) kontinuerlig. Det holder temperaturen stabil for kritiske verktøy som fotolitografisystemer, kryopumper, plasmakamre og sjokktestere. Selv en liten feil i kryogenforsyningen kan påvirke utbyttet, konsistensen eller levetiden til dyrt utstyr. Det er der vårVakuumisolert rørkommer inn: Vi bruker flerlagsisolasjon, dypt vakuum og solide støtter for å redusere varmelekkasjer. Dette betyr at rørene holder de indre forholdene bunnsolide, selv når etterspørselen øker, og kokehastighetene holder seg mye lavere enn i gammeldagse skumisolerte rør. Med tett vakuumkontroll og nøye termisk styring leverer rørene våre LN₂ nøyaktig når og der det trengs – ingen overraskelser.

Noen ganger må systemet bøye seg eller flekse – kanskje ved verktøyfester, i områder som er følsomme for vibrasjoner, eller steder der utstyr beveger seg. Det er det våreVakuumisolert fleksibel slangee står for. Den tilbyr samme termiske beskyttelse, men lar deg bøye og installere raskt, takket være polert korrugert rustfritt stål, reflekterende isolasjon og en vakuumforseglet kappe. I renrom holder denne slangen partikler nede, blokkerer fuktighet og holder seg stabil selv om du stadig konfigurerer verktøy. Ved å kombinere stive rør med fleksibel slange får du et system som er både solid og tilpasningsdyktig.

Vakuumisolert ventil
Faseseparator

For å holde hele det kryogene nettverket i gang med maksimal effektivitet, bruker vi vårDynamisk vakuumpumpesystemDen holder øye med vakuumnivåene og opprettholder dem gjennom hele oppsettet. Over tid fester vakuumisolasjon seg naturlig til sporgasser fra materialer og sveiser. Hvis du lar den gli, brytes isolasjonen ned, varme sniker seg inn, og du ender opp med å forbrenne mer LN₂. Pumpesystemet vårt holder vakuumet sterkt, slik at isolasjonen forblir effektiv og utstyret varer lenger – en stor sak for fabrikker som kjører døgnet rundt, hvor selv små temperatursvingninger kan forstyrre produksjonen.

For presis strømningskontroll, vår VacuumIsolert ventils griper inn. Vi designer dem med superlav varmeledningsevne, tette heliumtestede tetninger og strømningskanaler som reduserer turbulens og trykktap. Ventilhusene forblir fullstendig isolert, så det blir ingen frost, og de fortsetter å fungere problemfritt selv når du åpner og lukker dem raskt. I sensitive områder som luftfartsdrivstoff eller medisinsk kryoterapi betyr dette null forurensning og ingen fuktighetsproblemer.

Våre vakuumisolerteFaseseparatorholder nedstrømstrykket stabilt og stopper fluktuasjoner mellom væske og gass. Den styrer fasebalansen til LN₂ ved å tillate kontrollert fordampning i et vakuumisolert kammer, slik at bare væske av høy kvalitet når utstyret. I brikkefabrikker forhindrer dette temperaturendringer som kan forstyrre waferjustering eller etsning. I laboratorier holder den eksperimentene konsistente; ved LNG-terminaler øker den sikkerheten ved å redusere uønsket avkoking.

Ved å bringe sammenVakuumisolert rør,Fleksibel slange,Dynamisk vakuumpumpesystem,Isolert ventil, ogFaseseparatorI ett enkelt system gir HL Cryogenics deg et kryogent overføringsoppsett som er robust, energieffektivt og pålitelig. Disse systemene senker driftskostnadene ved å redusere tap av flytende nitrogen, forbedrer sikkerheten ved å holde kondens unna utsiden og leverer stabil ytelse – selv når trykket er høyt.

Vakuumisolert rør
Vakuumisolert fleksibel slange

Publisert: 19. november 2025